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          MDPlinescan

          • 更新時間:  2024-03-04
          • 產品型號:  
          • 簡單描述
          • 靈活的OEM設備,用于多種不同樣品的在線壽命測量:從單晶硅到多晶硅錠,從生成態晶圓片到不同鍍層或金屬化晶圓的過程控制。標準軟件接口,易于連接到許多處理或自動化系統。
          詳細介紹

          應用范圍:靈活的OEM設備,用于多種不同樣品的在線壽命測量:從單晶硅到多晶硅錠,從生成態晶圓片到不同鍍層或金屬化晶圓的過程控制。標準軟件接口,易于連接到許多處理或自動化系統。

          在線面掃和單點檢測

          MDPlinescan是一個易于集成的OEM單元,可集成到各種自動化的檢測線。關鍵的測量參數是實時的載流子壽命掃描。
          樣品通常由測量頭下的傳送帶或機器人系統來輸送。應用實例從晶錠到晶圓的檢測,每個晶圓的測量速度小于一秒。
          電池生產線上的來料質量檢查是用的一種應用方向,同樣,鈍化和擴散后的工藝質量檢查也能用到此款產品。

           

           

          還有許多其他的專門應用可能性。由于其易于集成,只需要以太網連接和電源。                                                              
            

          特性

          允許單片調查
          配方的基礎測量
          監控材料質量、工藝的完整性和穩定性

          優勢
          在μ-PCD或穩態激發條件下測量少數載流子壽命和電阻率是這個工具的重點。
          用于集成在生產線的多晶或單晶硅晶圓在不同的準備階段,直到設備,磚或錠。
          小尺寸和標準的自動化接口使集成變得容易。重點是長時間的可靠性和測量結果的精度。

           

          技術參數

          樣品

          多晶或單晶晶圓原料, 晶錠,晶胞

          樣品尺寸

          大約50 x 50 mm2

          電阻率

          0.2 - 103 Ohm cm

          conduction type

          p, n

          材質

          硅晶圓,部分或*加工的晶圓,復合半導體等

          測量屬性

          載流子壽命

          硬件接口

          ethernet

          大小

          174 x 107 x 205 mm, 重量t: 3 kg

          電源

          24 V DC, 2 A

           


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