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          Omega/Theta XRD - X射線晶體定向儀

          • 更新時間:  2024-03-04
          • 產品型號:  Freiberg-Omega/Theta XRD
          • 簡單描述
          • Omega/Theta XRD - X射線晶體定向儀用于超快速的晶體定向、生產中的晶體排列、質量控制、搖擺曲線測量、材料研究等。SiC | Si| AlN | GaAs | Quartz | LiNbO3 | BBO和其他100多種材料。
          詳細介紹

                  

          Freiberg Instruments的單晶XRD定向儀     

          主要里程碑:        

          ◆  1961 - EFG GmbH公司由X-ray Ing.集團亞瑟·布拉達切克和他的兒子漢斯·布拉達切克創立。        

          ◆  1969 - 研制了世界上基于集成電路的x射線檢測計數裝置,名為 COUNTIX 130。

          ◆  1989 - 開發 Omega-Scan 方法

          BOSCH 要求提供圓形石英毛坯的定向測量系統 -    振蕩器產量從 50% 提高到 95%

          ◆  2005 - 將 Omega 轉移到其他材料,如SiC、藍寶石、GaN、GaAS、Si、Ni基高溫合金  

          ◆  2010 - 推出用于晶體取向測量的臺式 X 射線衍射儀 ( DDCOM ) 

          全球售出 約 150臺石英分選系統

          ◆  2015 - X 射線技術和 EFG GmbH 合并到 Freiberg Instruments GmbH     

          傳承60年德國工匠精神-三代X射線工程師        

                  

           Omega/Theta XRD - X射線晶體定向儀產品優勢:       

          ◆  采用Omega-scan掃描方法       

          ◆  測試速度快: 5s        

          ◆  測角精度高: 0.003        

          ◆  兼具XRD定向功能以及Flat/Norch功能        

          ◆  磨拋定向解決方案        

          ◆  擁有晶錠粘接轉移的技術(堆垛 stacking)專為SiC工業設計,被多家SiC襯底頭部企業青睞,如:II-VI Advanced Materials, SiCrystal等,國外四分之三的碳化硅制造商依賴Freiberg Instruments公司的晶體取向測量技術,極大提高了生產效率,提升產品質量。 

          ◆  Mapping 面掃功能,搖擺曲線測定         

          ◆  易于集成到工藝線中        

          ◆  MES和/或SECS/GEM接口        

          ◆  傾斜的典型標準偏差(例如:Si 100):< 0.003 °,小于< 0.001 °        

          Omega/Theta X射線衍射儀是一個全自動的垂直三軸衍射儀,用于使用Omega-Scan和Theta-Scan方法對各種晶體進行取向測定和搖擺曲線測量。大而寬敞的設計可以容納長度達450毫米、重量達30公斤的樣品和樣品架。        

          所有的測量都是自動化的,可以從用戶友好的軟件界面上的訪問。使用Omega掃描,可以在晶體旋轉時(5秒)確定完整的晶格方向。Theta掃描更加靈活,但每次掃描只能得到一個取向成分。        

          傾斜角可以以非常高的精度確定;使用Theta掃描可以達到0.001°。對于所有其他晶體方向,精度取決于與表面垂直的角差。        

          該系統是模塊化的,已經配備了許多不同的擴展,用于特殊的目的,如形狀或平面的確定、繪圖和不同的樣品架。樣品的傾斜是通過光學測量檢測出來的,并可用于校正所產生的方向。        

           

          Omega/Theta XRD - X射線晶體定向儀        

          ◆  全自動完整的單晶體晶格取向測量        

          ◆  使用歐米茄掃描法進行超快速的晶體取向測量        

          ◆  自動搖動曲線測量功能        

          ◆  衍射儀的角度分辨率:0.1角秒。        

          ◆  樣品尺寸可達450毫米        

          ◆  適用于生產質量控制和研究        

                  

           用戶友好,成本效益高:        

          ◆  方便的樣品處理,易于操作        

          ◆  先進的、用戶友好的軟件        

          ◆  能源消耗和運行成本低        

          ◆  模塊化設計,靈活性強        

          ◆  各種升級選項        

          ◆  根據用戶的要求進行定制        

           

          選配功能:        

          ◆  自動Mapping面掃功能        

          ◆  Omega/Theta – 晶錠粘接轉移的技術(堆垛 stacking)        

          ◆  Omega/Theta - 搖擺曲線測量        

          ◆  Omega/Theta - 定制的樣品臺        

          ◆  用于樣品形狀測量的激光掃描儀        

          ◆  光學檢測,用于平面和凹槽檢測        

          ◆  額外的樣品旋轉軸用于3D繪圖        

          ◆  二級通道切割準直器(分析器)        

          ◆  用于樣品調整的設備


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