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          MDP在線晶圓片/晶錠點掃或面掃檢測儀

          • 更新時間:  2024-03-04
          • 產品型號:  弗萊貝格--MDPlinescan
          • 簡單描述
          • 德國弗萊貝格MDPinlinescan(MDP在線晶圓片/晶錠點掃或面掃檢測儀)是一款靈活的OEM設備,可以用于多種不同樣品的在線壽命測量:從單晶到多晶硅錠,從生成態晶圓片到不同鍍層或金屬化晶圓的過程控制。配置標準軟件接口,易于連接到許多處理或自動化系統。
          詳細介紹

          ?公司簡介

          Freiberg Instruments成立于2005年,源自德國弗萊貝格工業大學。
          初致力于開發一系列快速、無損的電氣特性測試工具,用于測量少數載流子壽命、光電導率和電阻率等參數。
          2012年整合了Magnettech公司,該公司擁有25年ESR順磁產品經驗;2015年又整合了EFG的X射線衍射產品。
          Freiberg Instruments是一家發展迅速,充滿活力,專業又具有創新的的分析儀器公司,產品廣泛應用于劑量學、
          醫學研究、材料研究、電子自旋共振、微電子學、光伏、發光年代測定和x射線衍射等領域。 

           

          ?產品介紹

          德國弗萊貝格MDPinlinescan(MDP在線晶圓片/晶錠點掃或面掃檢測儀)是一款靈活的OEM設備,可以用于多種不同樣品的在線壽命測量:從單晶到多晶硅錠,從生成態晶圓片到不同鍍層或金屬化晶圓的過程控制。

          MDPinlinescan(MDP在線晶圓片/晶錠點掃或面掃檢測儀)配置標準軟件接口,易于連接到許多處理或自動化系統。

           

           --各種不同的樣品,從單晶硅到多晶硅,從生長的晶片到加工過的晶片,都可以通過MDPlinescan使用少子壽命測量進行檢測。

           --MDPlinescan是一個易于集成的OEM單元,可集成到各種自動化的檢測線。關鍵的測量參數是實時的載流子壽命掃描。

           --樣品通常由測量頭下的傳送帶或機器人系統來輸送。應用實例從晶錠到晶圓的檢測,每個晶圓的測量速度小于一秒。

           --該儀器有許多專門應用可能性。由于其易于集成,只需要以太網連接和電源即可。例如,電池生產線上的來料質量檢查是其常用的一種應用方向,同樣,鈍化和擴散后的工藝質量檢查也能用到此款產品。

                                             

                                                                         

          ?特性

           --允許單片調查

           --配方的基礎測量

           --監控材料質量、工藝的完整性和穩定性

                         

          ?優勢

           --在µ-PCD或穩態激發條件下測量少數載流子壽命和電阻率是這個工具的重點。

           --用于集成在生產線的多晶或單晶硅晶圓,包括材料制備,和各種工藝處理階段。

           --小尺寸和標準的自動化接口使集成變得容易。優勢是長時間的可靠性和測量結果的高精度。

           

          ?技術參數


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