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          MDPpro晶圓片/晶錠壽命檢測儀--少子壽命

          • 更新時間:  2024-03-04
          • 產品型號:  德國Freiberg--MDPpro
          • 簡單描述
          • 弗萊貝格的MDPpro(MDPpro晶圓片/晶錠壽命檢測儀--少子壽命)系列主要用于測量少子壽命、光電導率、電阻率和樣品平整度及p/n檢查等,其非接觸式檢測和無損成像(μPCD /MDP(QSS))的設計*符合SEMI標準PV9-1110。這也使得該儀器在晶圓切割、爐內監控和材料優化等領域被廣泛應用??梢哉f,MDPpro是晶錠生產商以及晶體爐技術生產商d的標準儀器。
          詳細介紹

          ?公司簡介

           --Freiberg Instruments成立于2005年,源自德國弗萊貝格工業大學。初致力于開發一系列快速、無損的電氣特性測試工具,用于測量少數載流子壽命、光電導率和電阻率等參數。
           --2012年整合了Magnettech公司,該公司擁有25年ESR順磁產品經驗;2015年又整合了EFG的X射線衍射產品。
           --Freiberg Instruments是一家發展迅速,充滿活力,專業又具有創新的的分析儀器公司,產品廣泛應用于劑量學、醫學研究、材料研究、電子自旋共振、微電子學、光伏、發光年代測定和x射線衍射等領域。 

          ?產品介紹

           --弗萊貝格的MDPpro(MDPpro晶圓片/晶錠壽命檢測儀--少子壽命)系列主要用于測量少子壽命、光電導率、電阻率和樣品平整度及p/n檢查等,其非接觸式檢測和無損成像(μPCD /MDP(QSS))的設計*符合SEMI標準PV9-1110。

           --這也使得該儀器在晶圓切割、爐內監控和材料優化以及常規質量控制、精密材料研發的單晶和多晶片及晶錠的壽命測量等領域被廣泛應用??梢哉f,MDPpro(MDPpro晶圓片/晶錠壽命檢測儀--少子壽命)算得上是晶錠生產商以及晶體爐技術生產商d的標準儀器。

           

          ?特性&優勢:

           --無接觸和無破壞的半導體檢測;

           --特殊“underneath the surface”壽命測量技術;

           --對不可見缺陷的可視化測試具有很高靈敏度;

           --自動設置硅錠切割標準;

           --空間分辨p/n電導型變換檢測;

           --多項數據同時自動檢測掃描,5幅測量圖形同時繪制;

           --堅固耐用的設計和易于設置的性能。安裝,僅需要電源。

           

          ?應用實例

          -1.日常壽命測量,質量控制和檢驗

           --產量:>240塊/天或>720片/天
           --測量速度:對于156x156x400mm標準晶錠,<4分鐘
           --良品率提升:1mm切割標準為156x156x400mm標準晶錠
           --質量控制:用于過程和材料的質量監控,如單晶硅或多晶硅
           --沾污檢測:起源于坩堝和生產設備的金屬(Fe)
           --可靠性:模塊化和堅固耐用的工業儀器,更高可靠性,運行時間> 99%
           --可重復性:> 99.5%
           --電阻率:可做面掃描,不需經常校準

           

          -2. 精密材料研發

           --a.鐵濃度測定
           --b.陷阱濃度測定
           --c.硼氧測定
           --d.依賴于注入的測量等


           


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